CCQ-J系列超高真空气动插板阀综述
主要用途 广泛应用于各种超高真空系统及IC装备真空系统的气流隔断或接通,可替代同类进口产品。 结构特点 超高真空、超洁净、超长使用寿命;阀体真空钎焊、真空侧无夹气、冲压阀板;硫化胶圈、独特的密封结构。 专利号:ZL 2004 2 0120797.0