TG-VP1型小型箱式真空处理装置综述
该炉用来对各种电子、电磁元件或材料在真空气氛状态下对其加热或不加热进行处理,以使这些元件或材料的性能达到某种要求。该炉真空室为立式小型前开门箱式结构,真空室尺寸:400mmX500mm,真空室内部根据工件处理要求可加装工件台和加热器等。抽气系统由K-200扩散泵和2XZ-9直联机械泵组成,极限真空8×10-4 Pa。